液晶/半导体
  集成电路的设计和制作早已从大规模发展到超大规模。随着科技发展,存储单元每平方厘米将可能超过10万亿字节。对于如此高的制作密度,即使落在生产线上的灰尘颗粒直径只有发丝的一千分之一,其影响也无疑相当于在高速列车的轨道上放置一块巨石,对于半导体产品质量将造成致命的打击。超高洁净度的洁净空间能解决这一问题,我们已可以成功过滤0.1µm的粒子,并且填补了在沿海区域由于空气中含盐量过高而无法建设半导体生产企业的空白。但微电子行业未来的发展趋势已经向我们提出更高的要求,加大研发力度,开发更高效率的洁净空间与之相适应是我们义不容辞的责任。
  近年,伴随着半导体设计标准对细微化的追求,纳米级粒子的除去成为必需的要求。弊公司的“化粒炭”产品是为了除去分子级的粒子而进化产生的化学吸附过滤器。
相关产品
  • 化粒炭
    以椰子壳活性炭为基础原料的化学吸附过滤器;已经在日本和中国国内的半导体工厂推动使用,创造了各种各样的业绩。除了户外空气处理用的托盘型外,还有能配合FFU循环系使用的薄型密折式。
  • FFD
    使用了Panasonic制造的高性能EC马达,是兼具耐久性、安全性且节省能源的新型产品。配套使用了PTFE滤材,实现了高100毫米的超薄型,即使在只有极小设置空间的装置内也可充分发挥其性能。另外,还开发了配化学过滤器的GS型。




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